本發(fā)明提供一種用于批量合成
復(fù)合材料的激光沉積設(shè)備,包括激光源、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第一反射鏡、第二反射鏡、真空室、至少兩個(gè)用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺(tái)以及用于沉積復(fù)合材料的基片;所述第一固定平臺(tái)以及所述基片均設(shè)置于所述真空室內(nèi),所述至少兩個(gè)第一固定平臺(tái)分別與所述基片的預(yù)設(shè)區(qū)域相對(duì),所述真空室設(shè)置有通光部,所述第二反射鏡與所述第一反射鏡平行,所述激光源與所述第一反射鏡的出光方向呈預(yù)設(shè)夾角;所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述第二反射鏡連接,以驅(qū)動(dòng)所述第二反射鏡沿著垂直于所述激光源的出光方向的方向移動(dòng)至對(duì)應(yīng)位置,所述第一反射鏡用于將所述激光源發(fā)出的激光反射對(duì)應(yīng)位置的所述第二反射鏡。
聲明:
“用于批量合成復(fù)合材料的激光沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)