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具有鉭金屬涂層的Cf/SiC基復(fù)合材料及其制備方法

833   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:14:03
本發(fā)明公開了一種具有鉭金屬涂層的Cf/SiC基復(fù)合材料及其制備方法,包括以下步驟:步驟1、對Cf/SiC基體3進(jìn)行表面處理、清洗并干燥;步驟2、將Cf/SiC基體3置于沉積室中的轉(zhuǎn)盤上,并將鉭金屬粉末放于氧化室1中的反應(yīng)容器中,對沉積室和氧化室抽真空后升溫;步驟3、待溫度穩(wěn)定后,分別向氧化室和沉積室中通入氟氣和氫氣,氧化室中氟氣與金屬鉭粉末反應(yīng)生成前驅(qū)體五氟化鉭,由于壓強(qiáng)作用,五氟化鉭流通到沉積室中與氫氣發(fā)生還原反應(yīng)沉積在Cf/SiC表面并形成鉭金屬涂層。解決了現(xiàn)有Cf/SiC復(fù)合材料易高溫氧化燒蝕,隔氧能力弱,耐腐蝕性不高的問題。
聲明:
“具有鉭金屬涂層的Cf/SiC基復(fù)合材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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