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氮化鎢基三元納米復合超硬薄膜材料及其制備方法

1114 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-04 01:00:27

本發(fā)明公開了一種氮化鎢基三元納米復合超硬薄膜材料及其制備方法。材料為基底上覆有化學式為WxM1-xN的納米復合超硬薄膜，化學式中的W為金屬鎢、M為金屬置換物、N為氮、x的取值范圍為0.06～0.72，薄膜由金屬鎢與金屬M的氮化物固溶相和金屬鎢相構成，或者由氮化鎢相、金屬鎢相和金屬M相構成，其晶粒尺寸為4～30nm、膜的厚度為3～7μm；方法為，先將由金屬鎢與金屬置換物構成的復合靶和基底分別置于磁控濺射設備真空室內的陰極上和樣品臺中，再待真空室的真空度≤1×10-3pa、基底溫度達350～ 450℃后，使真空室處于氬氮混合氣氛下，濺射60～120min，制得氮化鎢基三元納米復合超硬薄膜材料。它可廣泛地用于機械制造、汽車與紡織工業(yè)、地質鉆探、模具工業(yè)等領域。

聲明：

“氮化鎢基三元納米復合超硬薄膜材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)