3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法,復(fù)合材料"> 3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法,本發(fā)明公開了一種基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法,該氣體傳感器包括:陶瓷基底以及印刷于陶瓷基底上的電感線圈與復(fù)合氣敏電阻,電感線圈的外端經(jīng)陶瓷基底通孔內(nèi)填充的銀漿與復(fù)合氣敏電阻一端的連接,內(nèi)端與復(fù)合氣敏電阻的另一端相連,構(gòu)成LR敏感回路;陶瓷基底以氧化鋁生瓷帶為材料,采用HTCC工藝制備,電感線圈以Ag為漿料,采用絲網(wǎng)印刷工藝制備,復(fù)合氣敏電阻采用Pt?WO3復(fù)合材料,由磁控濺射工藝制備。本發(fā)明的氣體傳感器利用無線非接觸的測量方法,通過分析隨">

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基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法

978   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:45:52
本發(fā)明公開了一種基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法,該氣體傳感器包括:陶瓷基底以及印刷于陶瓷基底上的電感線圈與復(fù)合氣敏電阻,電感線圈的外端經(jīng)陶瓷基底通孔內(nèi)填充的銀漿與復(fù)合氣敏電阻一端的連接,內(nèi)端與復(fù)合氣敏電阻的另一端相連,構(gòu)成LR敏感回路;陶瓷基底以氧化鋁生瓷帶為材料,采用HTCC工藝制備,電感線圈以Ag為漿料,采用絲網(wǎng)印刷工藝制備,復(fù)合氣敏電阻采用Pt?WO3復(fù)合材料,由磁控濺射工藝制備。本發(fā)明的氣體傳感器利用無線非接觸的測量方法,通過分析隨電阻變化的Q值,即可準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)低溫條件下待測氣體H2的檢測,采用成熟的絲網(wǎng)印刷和磁控濺射制備工藝,具有加工簡便,成本低廉等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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