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光波導(dǎo)制造方法

925   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:50:09
一種光波導(dǎo)的制造方法,通過:(a)沉積第一組合物,該第一組合物包括:(i)包含環(huán)氧基和烯基的聚硅氧烷,和(ii)分子量不大于1000且折射率至少為1.47的包含環(huán)氧基的化合物;以及(iii)光致產(chǎn)酸劑;和(iv)氫化硅烷化催化劑,(b)通過暴露于紫外光下固化第一組合物;(c)去除第一組合物的未固化部分的至少一部分以產(chǎn)生最終的圖案化芯層;(d)在最終的圖案化芯層上沉積第二組合物,以產(chǎn)生復(fù)合材料,該第二組合物包含:(i)包含環(huán)氧基和烯基的聚硅氧烷,和(ii)包含環(huán)氧基和硅?氫鍵的化合物,其分子量不大于1000且折射率不大于1.45;(iii)光致產(chǎn)酸劑;(e)在20至150℃的溫度下加熱0.1至120分鐘;和(f)通過暴露在紫外線下固化。
聲明:
“光波導(dǎo)制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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