本發(fā)明涉及全固態(tài)薄膜鋰離子電池相關靶材及其制造方法。該方法主要包括選料、燒結前處理、熱壓燒結、靶材后處理等步驟組成,可以制造的靶材有:LiCoO2、LiFePO4、Li3PO4等。該方法使用石墨模具,用鉬箔做模具與靶材的隔離材料,上下表面均用鉬箔作為保護。預壓1~5MPa,抽真空至10?3Pa,以10~15℃/min的速度加熱至100~400℃,保溫0.5h~1h,充入氬氣。然后以10~15℃/min的速度加熱至400℃~1000℃,逐步升溫,加壓,最終的燒結壓力為20~60MPa,保溫1~5h。保壓隨爐冷,取出將表層磨掉。該方法能夠獲得高純,高致密的全固態(tài)薄膜鋰離子電池用靶材,工藝過程設計簡單易行,成本較低。
聲明:
“全固態(tài)薄膜鋰離子電池相關靶材及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)