本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的薄膜形成方法包括在真空室內(nèi)將鋰金屬膜形成在基材上的處理。所述鋰金屬膜的表面在所述真空室內(nèi)被氧化。氧化后的所述鋰金屬膜的表面在真空室內(nèi)被碳酸化。
聲明:
“薄膜形成方法、薄膜形成裝置及鋰電池” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)