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復(fù)合基板、彈性波元件及復(fù)合基板的制造方法

826   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:11:36
在將包含鉭酸鋰等的壓電性材料基板和包含水晶的支撐基板接合時,使接合強(qiáng)度提高,使得即便減薄壓電性材料基板也不會剝離。復(fù)合基板7、7A具有:支撐基板4,其包含水晶;壓電性材料基板1、1A,其包含選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰及鈮酸鋰-鉭酸鋰構(gòu)成的組中的材質(zhì);以及界面層5,其處于支撐基板4與壓電性材料基板1、1A的接合界面。界面層5為以鉭和鈮中的至少一者、硅及氧為構(gòu)成成分的非晶質(zhì)結(jié)構(gòu)。界面層5中的氫原子濃度、氮原子濃度及氟原子濃度分別為1×1018atoms/cm3以上5×1021atoms/cm3以下。
聲明:
“復(fù)合基板、彈性波元件及復(fù)合基板的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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