本發(fā)明公開了一種聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法,通過在襯底背面蒸鍍金屬Ti形成Ti金屬層,然后再在襯底的正面進(jìn)行IDT制程形成IDT金屬層,最后通過濕法刻蝕工藝去除Ti金屬層。Ti金屬層在IDT制程中不僅可以實(shí)現(xiàn)遮光,還具有良好的導(dǎo)熱性能,因此可以避免黃光制程的固化過程中晶圓受熱不均導(dǎo)致光刻膠形貌不一致,有效改善鉭酸鋰或鈮酸鋰晶圓上IDT金屬層CD均勻性。并且金屬Ti具有較低的熱膨脹系數(shù),散熱效果好,避免晶圓襯底在黃光制程中由于受熱不均產(chǎn)生破裂。相比于鎳等其他金屬,蝕刻Ti金屬層生成的鈦絡(luò)合物不會(huì)帶來環(huán)境污染,Ti金屬層的去除操作安全性高。
聲明:
“聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)