亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法

聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法

794   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:29:35
本發(fā)明公開了一種聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法,通過在襯底背面蒸鍍金屬Ti形成Ti金屬層,然后再在襯底的正面進(jìn)行IDT制程形成IDT金屬層,最后通過濕法刻蝕工藝去除Ti金屬層。Ti金屬層在IDT制程中不僅可以實(shí)現(xiàn)遮光,還具有良好的導(dǎo)熱性能,因此可以避免黃光制程的固化過程中晶圓受熱不均導(dǎo)致光刻膠形貌不一致,有效改善鉭酸鋰或鈮酸鋰晶圓上IDT金屬層CD均勻性。并且金屬Ti具有較低的熱膨脹系數(shù),散熱效果好,避免晶圓襯底在黃光制程中由于受熱不均產(chǎn)生破裂。相比于鎳等其他金屬,蝕刻Ti金屬層生成的鈦絡(luò)合物不會(huì)帶來環(huán)境污染,Ti金屬層的去除操作安全性高。
聲明:
“聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
加工技術(shù)
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記