本發(fā)明涉及一種亞磷酸三乙酯廢水處理工藝，屬化工合成技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以石灰乳和聚合硫酸鐵作為沉淀劑，在臭氧氧化作用下將亞磷酸氧化成正磷酸，通過調(diào)節(jié)PH值來沉淀廢水中的磷離子。本發(fā)明利用高溫加熱的方法使廢水中有機(jī)物（苯、三乙胺）和氨根離子揮發(fā)來降低廢水中的氨氮及COD，然后先通過石灰乳沉降大部分磷離子來減少二級沉降的藥劑使用量，降低的廢水處理成本。該發(fā)明中藥劑的使用量很少，一級沉降產(chǎn)生的沉淀具有一定經(jīng)濟(jì)效益。該廢水處理工藝綠色、環(huán)保，降低了生產(chǎn)成本，適用于工業(yè)化擴(kuò)大生產(chǎn)。