本發(fā)明的一種半導(dǎo)體行業(yè)硅片研磨廢水回用的處理方法屬于半導(dǎo)體制造和
工業(yè)廢水處理技術(shù)。該廢水回用的處理方法包括如下步驟:S1,通過廢水收集箱收集硅片研磨產(chǎn)生的廢水;S2,利用水泵將廢水泵入多介質(zhì)過濾器進(jìn)行第一次過濾;S3,將經(jīng)過第一次過濾的水送入保安過濾器進(jìn)行第二次過濾;S4,將經(jīng)過第二次過濾的水送入超濾膜過濾裝置中進(jìn)行第三次過濾;S5,通過SDI測定儀或者濁度儀測定并判斷經(jīng)過第三次過濾的水是否符合欲先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)要求,如符合標(biāo)準(zhǔn)要求,送入產(chǎn)水箱;如不符合標(biāo)準(zhǔn)的要求,送入廢水收集箱重復(fù)步驟S1至S4。該方法處理的水可直接利用,且無需添加藥劑,系統(tǒng)占地面積小,減輕膜堵塞,使用效果穩(wěn)定。
聲明:
“半導(dǎo)體行業(yè)硅片研磨廢水回用的處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)