本實用新型屬于半導(dǎo)體晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域,且公開了一種5G半導(dǎo)體晶圓加工用廢水處理裝置,包括工作臺,所述工作臺的上壁面安裝有支撐結(jié)構(gòu),所述工作臺的上壁面安裝有過濾結(jié)構(gòu),所述支撐結(jié)構(gòu)的上壁面安裝有循環(huán)結(jié)構(gòu),所述支撐結(jié)構(gòu)的上壁面安裝有導(dǎo)向結(jié)構(gòu),本實用新型通過三個過濾網(wǎng)依次過濾,將廢水中雜質(zhì)剔除,使廢水再次使用,實現(xiàn)加工處理相結(jié)合,節(jié)約水資源,解決了半導(dǎo)體晶圓加工時會大量的浪費水資源的問題,本實用新型是完全的機械結(jié)構(gòu),這樣的機械結(jié)構(gòu)是十分的耐用的,并且故障率也是很低的,另外從制造的角度去思考,本實用新型由于采用單純的機械結(jié)構(gòu),所以制造成本也是很低下的,且拆裝簡單快速。
聲明:
“5G半導(dǎo)體晶圓加工用廢水處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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