本實用新型涉及一種硅片加工廢水的處理裝置，屬于水處理技術(shù)領(lǐng)域。固液分離膜，用于對硅片加工廢水進(jìn)行過濾處理；第一納濾膜、連接于固液分離膜的滲透側(cè)，用于對固液分離膜的濾液進(jìn)行納濾處理；第二納濾膜，連接于第一納濾膜的截留側(cè)，用于對第一納濾膜的濃縮液進(jìn)行納濾處理；中和反應(yīng)槽，連接于第二納濾膜的截留側(cè)，用于對第二納濾膜的濃縮液進(jìn)行加酸中和反應(yīng)；酸液投加罐，連接于中和反應(yīng)槽，用于向中和反應(yīng)槽中加入酸。本實用新型具有過濾效果好、自動化程度高、適應(yīng)性強、占地面積小等優(yōu)點，因此本實用新型特別適用于硅片堿蝕液沖洗廢水的回收。