本發(fā)明涉及一種有機硅廢水的的生化處理方法，包括預處理，鐵碳微電解+類芬頓FENTON高級催化氧化，以提高B/C值，出水經(jīng)調整pH之后進入絮凝沉淀池，接著進入一段循環(huán)流生物膜水解酸化池、生物倍增生物膜好氧反應池，然后進入沉淀池，沉淀池內泥水分離，上清液進入臭氧催化氧化塔，再進入二段循環(huán)流生物膜水解酸化池、二段生物倍增生物膜好氧反應池進行生化處理，出水經(jīng)過二沉池達標排放。本發(fā)明的優(yōu)點是極大地保證了廢水穩(wěn)定達標排放，同時對傳統(tǒng)的物化處理大大降低成本，為有機硅廢水的處理提供新的思路。