本發(fā)明涉及一種硅片堿蝕液沖洗廢水的回收工藝及方法,更具體地是涉及一種含有氫氧化鉀、硅酸鉀、有機物的堿液的凈化工藝,屬于三廢處理技術(shù)領(lǐng)域。包括固液分離膜過濾系統(tǒng)、納濾膜過濾系統(tǒng)。所述的固液分離膜過濾系統(tǒng)位于納濾膜過濾系統(tǒng)的前端。固液分離膜過濾系統(tǒng)包括但不局限于陶瓷固液分離膜、管式固液分離膜、板式固液分離膜以及中空纖維膜等。所述的納濾膜過濾系統(tǒng)包括但不局限于卷式納濾膜。其中納濾膜設(shè)置兩級。膜過濾系統(tǒng)設(shè)置若干個閥門用于調(diào)整系統(tǒng)的操作壓力、進出水流量以及固液分離膜的反沖洗、化學(xué)清洗等。本發(fā)明具有過濾效果好、自動化程度高、適應(yīng)性強、占地面積小等優(yōu)點,因此本發(fā)明特別適用于硅片堿蝕液沖洗廢水的回收。
聲明:
“硅片加工廢水的處理方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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