本發(fā)明公開一種APCVD在線低輻射鍍膜廢氣處理裝置,包括通過管道依次連通的變頻廢氣風(fēng)機(jī)(1)、焚燒爐(2)、高溫靜電除塵裝置(3)、洗滌塔(4)、重力脫水裝置(5)與引風(fēng)機(jī)(6);通過各個廢氣處理裝置的有序配合,處理高溫、酸性、含塵、含氟的鍍膜廢氣;洗滌塔(4)廢液出口及重力脫水裝置(5)出水口還連通有回水池(9),回水池(9)通過抽液泵(13)與冷卻塔(14)與供液池(8)構(gòu)成循環(huán)通路,使洗滌塔(4)中未反應(yīng)完全的堿液循環(huán)利用,反應(yīng)完全后的廢液經(jīng)泥漿泵(15)抽至壓濾機(jī)(16),通過壓濾機(jī)(16)的固液分離,使濾液進(jìn)入廢水池(10)后再經(jīng)廢水泵(17)噴入焚燒爐(2)燃燒處理,濾渣可回收利用,從而實(shí)現(xiàn)了在鍍膜廢氣處理過程中產(chǎn)生廢水的循環(huán)凈化,達(dá)到無污染排放的目的。
聲明:
“APCVD在線低輻射鍍膜廢氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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