本發(fā)明公開了一種臭氧、電化學(xué)/芬頓氧化耦合聯(lián)用深度處理系統(tǒng)及其處理工藝，該系統(tǒng)包括臭氧氧化單元和電化學(xué)/芬頓氧化單元，在臭氧氧化單元后端設(shè)置第一pH調(diào)節(jié)單元，第一pH調(diào)節(jié)單元與電化學(xué)/芬頓氧化單元相連接，在電化學(xué)/芬頓氧化單元后端設(shè)置第二pH調(diào)節(jié)單元；臭氧氧化單元與電化學(xué)/芬頓氧化單元相連接，將臭氧氧化尾氣通入電化學(xué)/芬頓氧化單元；本發(fā)明處理后的廢水COD達標排放，尾氣中臭氧濃度小于1ppm，充分強化了有機物氧化去除效果，通過利用臭氧氧化尾氣在電極反應(yīng)中陰極發(fā)生還原反應(yīng)生成過氧化氫，與加入的亞鐵離子構(gòu)成芬頓試劑，同時陽極發(fā)生有機物的氧化反應(yīng)，實現(xiàn)了有機物的深度脫除，省去了目前工業(yè)上常用的尾氣破壞裝置，節(jié)省了裝置投資，實現(xiàn)了廢氣資源化利用。