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電子超純水的循環(huán)回用處理方法

902   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 03:16:22
一種所述的電子超純水的循環(huán)回用處理方法,它屬于水處理技 術(shù),它包括如下工藝步驟:首先經(jīng)過超濾系統(tǒng)過濾脫除懸浮性雜質(zhì)雙 氧水氧化分解:在上述超濾后的廢水中中投加200-500ppm的雙氧水; 紫外線照射:將投入了雙氧水的污染水通過紫外光照射反應(yīng)裝置,紫 外光的波長范圍是185-254nm,照射劑量是50-500J/m2,然后讓污染 水在水箱中停留20-60分鐘;反滲透:將經(jīng)過充分氧化降解處理的廢 水泵入反滲透膜模塊或者納濾裝置中進行過濾;混床:將納濾或反滲 透處理后的水導(dǎo)入混床,脫除水中的帶電離子等雜質(zhì)。采用本發(fā)明與 常規(guī)有臭氧參加氧化脫除TOC的方法相比,工藝方法安全、簡潔,處 理完畢的清洗水可以再次回用做高端電子產(chǎn)品純水。
聲明:
“電子超純水的循環(huán)回用處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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