本發(fā)明公開了一種顯影輔助劑,包括以下各組分且各組分重量百分含量為:有機(jī)堿:0.01~5%;無機(jī)堿:0.01~5%;有機(jī)溶劑:0.1~10%;表面活性劑:0.01~5%;水:余量。本發(fā)明顯影輔助劑可防止干膜顯影過程中殘?jiān)漠a(chǎn)生,減少金屬面污染,提升產(chǎn)品良率;還可以提升溶膜量,進(jìn)而減少顯影液用量,降低顯影液廢水處理量及生產(chǎn)成本。
聲明:
“顯影輔助劑” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)