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從硅片切削廢液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法

742 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 04:28:05

本發(fā)明涉及一種從硅片切削廢液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法,其特征在于包括以下步驟:廢切削液經常溫下攪拌后,分離得固體和液體;固體加入純水攪拌,打碎,加入堿液進行反應,再進入離心分離裝置,得到碳化硅液流;加入酸液進行反應,再進入離心分離裝置,得到干凈的碳化硅液流。經過清洗后,進入烘干機,烘干,風力分級,篩選后包裝。固液分離后的液體部分,加入脫色劑和助濾劑,進入機械分離,分離出的液體中再次加入脫色劑和助濾劑,進行機械分離,經過離子交換系統(tǒng)過濾脫去鹽分后,經四效蒸發(fā)系統(tǒng)脫去水分,即得到聚乙二醇切削液;本發(fā)明避免了硅片切削廢液直接排放對環(huán)境造成的污染,同時還有效降低了硅片切割時的生產成本。

聲明：

“從硅片切削廢液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)