本實(shí)用新型提供一種
多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的高溫廢氮?dú)獾幕厥绽醚b置,包括:過濾單元,其輸入端接入高溫廢氮?dú)?,其輸出端與冷卻單元的輸入端相連,用于去除高溫廢氮?dú)庵械墓腆w顆粒雜質(zhì),并將已去除固體顆粒雜質(zhì)的高溫廢氮?dú)廨敵鲋晾鋮s單元;冷卻單元,其輸出端與吸附單元的第一輸入端相連,用于對已去除固體顆粒雜質(zhì)的高溫廢氮?dú)膺M(jìn)行降溫處理,并將低溫廢氮?dú)廨敵鲋廖絾卧晃絾卧?,其輸出端與氮?dú)庥脩粝噙B,其內(nèi)填裝有吸附劑,用于去除低溫廢氮?dú)庵械臍怏w雜質(zhì),并將純化后的低溫氮?dú)廨敵鲋恋獨(dú)庥脩簟1緦?shí)用新型所述回收利用裝置不但能有效回收利用高溫廢氮?dú)庵械牡獨(dú)?,還能有效降低高溫廢氮?dú)鈱Νh(huán)境的污染。
聲明:
“多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的高溫廢氮?dú)獾幕厥绽醚b置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)