本發(fā)明提供一種廢氣處理裝置及半導(dǎo)體設(shè)備，廢氣處理裝置包括處理腔體、過(guò)濾組件、支撐組件和抽氣部件，支撐組件設(shè)置在處理腔體中，將處理腔體的內(nèi)部空間分為第一處理腔和第二處理腔；支撐組件上設(shè)有供廢氣通過(guò)的通氣結(jié)構(gòu)，廢氣通過(guò)抽氣部件從第一處理腔經(jīng)過(guò)通氣結(jié)構(gòu)向第二處理腔流動(dòng)；處理腔體上設(shè)置有進(jìn)氣結(jié)構(gòu)和排氣結(jié)構(gòu)，進(jìn)氣結(jié)構(gòu)與第一處理腔連通，排氣結(jié)構(gòu)與第二處理腔連通；過(guò)濾組件設(shè)于支撐組件上且位于第二處理腔中，包括多個(gè)相互堆疊的固體填料，固體填料用于對(duì)由廢氣產(chǎn)生的污染物進(jìn)行過(guò)濾。本發(fā)明提供的廢氣處理裝置及半導(dǎo)體設(shè)備能夠降低過(guò)濾組件更換的頻率，從而能夠降低廢氣處理裝置的使用成本，并提高半導(dǎo)體設(shè)備的使用效率。