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單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法

731 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 04:39:41

本發(fā)明公開了一種單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法，包括以下步驟：(1)、在處于攪拌下的單晶硅切割渣及切割廢液中加入鹽酸，攪拌反應后得混合料液；(2)、將混合料液加熱蒸發(fā)進行固液分離，得到碳化硅、硅和雜質的固體混合物和氣體，將氣體蒸出冷凝后得水和聚乙二醇的混合液，脫水后升溫排水得聚乙二醇；(3)、將碳化硅、硅和雜質的固體混合物經(jīng)震蕩清洗和重力分離得到碳化硅和硅的固體混合物；(4)、將碳化硅和硅的固體混合物加入到硝酸和HF組成的混合酸溶液中，反應后將氟硅酸蒸出，冷凝得氟硅酸，再將氟硅酸加工回收硅，反應后剩余碳化硅和酸液，過濾酸洗、水洗并干燥得碳化硅。本發(fā)明方法環(huán)保且具有很大的經(jīng)濟效益。

聲明：

“單晶硅切割渣及切割廢液的回收處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)