一種廢酸液循環(huán)使用的工藝,將無(wú)法達(dá)到半導(dǎo)體工業(yè)要求的一廢酸液經(jīng)過(guò)以下新工藝產(chǎn)生符合半導(dǎo)體工業(yè)需求的高純度硫酸,供半導(dǎo)體工業(yè)使用,步驟包括:將該廢酸液導(dǎo)入一分解爐中,產(chǎn)生SO2氣體;接著將SO2氣體通過(guò)一含有一催化劑的轉(zhuǎn)換塔,使SO2氣體轉(zhuǎn)換成SO3氣體;接著將SO3氣體移至一吸收塔中與硫酸及水混合,產(chǎn)生一發(fā)煙硫酸,再將該發(fā)煙硫酸通過(guò)薄膜蒸餾法,產(chǎn)生高純度且無(wú)金屬的SO3氣體,再加入一惰性氣體,接著將稀釋的SO3氣體與高純度稀硫酸混合,并過(guò)濾除去其固體雜質(zhì),即得一半導(dǎo)體級(jí)硫酸。
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“廢酸液循環(huán)使用的工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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