本實用新型公開了基于半導(dǎo)體加工的廢氣處理裝置,包括濾箱和連接機構(gòu),濾箱的內(nèi)部設(shè)置有濾網(wǎng),連接機構(gòu)包括矩形框、卡板和卡槽組成,濾網(wǎng)設(shè)置于矩形框的內(nèi)部,卡板的背面與矩形框的正面固定連接,濾箱的正面開設(shè)有卡槽卡板的外壁與卡槽的內(nèi)壁活動穿插連接,卡板的背面貼設(shè)有橡膠墊,卡板的正面設(shè)置有定位機構(gòu),定位機構(gòu)包括U型框和定位塊,U型框固定連接于卡板的正面,定位塊的外壁與U型框的內(nèi)壁活動穿插連接。本實用新型利用矩形框、卡板和卡槽的設(shè)置,再通過定位機構(gòu)的配合,使得卡板穩(wěn)定的卡在卡槽內(nèi),這種方式只需接觸定位機構(gòu)便可將矩形框取出從而對其內(nèi)濾網(wǎng)上卡住的固體顆粒進行清理,提高了濾網(wǎng)清理的便捷性。
聲明:
“基于半導(dǎo)體加工的廢氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)