本發(fā)明的雜質(zhì)除去系統(tǒng)具備:貯存規(guī)定量的來(lái)自冷卻器(5a)的廢液(D1)的廢液罐(10);堿水溶液供給裝置(9),其具有:接收并貯存規(guī)定量的廢液罐(10)的廢液的一部分的水溶液調(diào)整罐(15),供給固體堿劑(17)以制備堿水溶液(19)的固體堿劑供給機(jī)(18),控制固體堿劑供給機(jī)(18)以調(diào)節(jié)堿水溶液的堿濃度的堿濃度控制器(23),和將堿水溶液供給至冷卻器(5a)的廢氣入口側(cè)的泵(24);堿供給控制裝置(26),其具有:在后段的冷卻器(5c)下游側(cè)具備的雜質(zhì)檢測(cè)器(27),得到廢液罐(10)的廢液的pH檢測(cè)值的廢液pH檢測(cè)器(28),和基于雜質(zhì)檢測(cè)值(27a)控制供給至冷卻器(5a)的廢氣入口側(cè)的堿供給量,使得pH檢測(cè)值(28a)變?yōu)樵O(shè)定值的供給控制器(29)。
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