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單晶與多晶硅線切割用砂漿回收技術(shù)

638   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 04:52:11
本發(fā)明涉及一種單晶與多晶硅線切割用砂漿回收技術(shù)。硅是用于太陽能電池、半導(dǎo)體、液晶顯示屏等方面的重要材料。硅棒經(jīng)線切割工藝形成硅片,此過程中線切割機需添加切割液砂漿,砂漿主要由液相聚乙二醇和固相碳化硅粉末組成。線切割機在切割硅棒時,碳化硅與硅棒及鋼線接觸的磨削過程使得砂漿中的固體顆粒發(fā)生了變化成為廢砂漿。廢砂漿若直接排放,會造成環(huán)境污染和原材料浪費。本發(fā)明采用砂漿回收技術(shù),得到回收產(chǎn)品,可以重新再利用,減少三廢排放,在降低生產(chǎn)成本的同時還起到環(huán)境保護作用?;厥站€切割用廢砂漿工藝流程:廢砂漿原液→一次膜過濾→PEG液體;廢砂漿原液→一次膜過濾→清洗處理→粉末干燥→粉末分級→SIC粉末。
聲明:
“單晶與多晶硅線切割用砂漿回收技術(shù)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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