提供了一種使用硅污染減少系統(tǒng)(SPRS)來處理排氣流或廢氣流的方法和設(shè)備以通過氣體穩(wěn)定化來除去至少一種不期望的物質(zhì)而清潔排氣流或廢氣流從而允許經(jīng)清潔的氣體流直接排放到大氣中。該設(shè)備包括用于依次處理排氣流或廢氣流的至少三個(gè)處理站,其中至少一個(gè)處理站是含有成核液體或沉淀液體的濕式反應(yīng)器,其用于除去作為固體的不期望的物質(zhì)并且用于氧化已從其中除去不期望的物質(zhì)的殘留氣體流,并且至少一個(gè)處理站是或具有用于壓縮被處理的氣體流的氣體壓縮階段或部件。該方法和設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)是經(jīng)處理的氣體流具有減少量的污染物可直接排放到大氣中。
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