本發(fā)明公開了從晶片切割砂漿中分離出切割液、碳化硅和硅粉的方法,該方法工藝步驟包括:固液分離,用乙醇清洗分離出來的固體,再用純水洗滌甩干,然后用激光粒度儀測定硅粉和碳化硅/金屬混合物的粒度組成和分布狀態(tài),并用X射線衍射精密測定各組成部分的質(zhì)量比,將測得的數(shù)據(jù)通過臥螺沉降離心機(jī)分選參數(shù),由臥螺沉降離心機(jī)將砂粉初步分離成主要為碳化硅和鐵粗粉、主要為碳化硅和硅的中粉和主要為硅的細(xì)粉,再將中粉加入電泳池,將電泳池上的電極加電,在電場作用下使碳化硅粉沉淀而硅粉上浮,再將沉淀后的碳化硅砂粉及粗粉進(jìn)行堿洗和磁選除鐵,然后水洗甩干。該工藝突破了現(xiàn)有廢砂漿處理中超細(xì)顆粒的分離技術(shù),并綜合處理解決現(xiàn)有污染問題。
聲明:
“從晶片切割砂漿中分離出切割液、碳化硅和硅粉的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)