一種用于有機(jī)硅、
多晶硅生產(chǎn)除塵系統(tǒng),包括干式除塵裝置、換熱器、洗滌塔,廢氣進(jìn)氣管道連接干式除塵裝置煙氣進(jìn)口,干式除塵裝置出氣口通過出氣管道連接洗滌塔煙氣進(jìn)口,出氣管道另設(shè)一號換熱進(jìn)氣管連接換熱器一號進(jìn)氣口,換熱器一號出氣口通過一號換熱出氣管連接出氣管道,換熱器二號出氣口通過反吹管道連接干式除塵裝置的反吹系統(tǒng),換熱器二號進(jìn)氣口連接氯甲烷氣體管道。能夠有效除去有機(jī)硅、多晶硅高溫合成氣中的固體顆粒,減少高沸物的損失,解決常規(guī)干式除塵過程中小顆粒無法去除及
除塵器使用壽命短問題。
聲明:
“用于有機(jī)硅、多晶硅生產(chǎn)除塵系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)