本發(fā)明涉及一種用于多晶硅制絨廢酸液回收利用裝置和方法，其中，二次化學(xué)反應(yīng)沉淀段是通過一次反應(yīng)中和氫氟酸，二次反應(yīng)生成氟硅酸鹽的沉淀物，將該沉淀物可銷售；精餾提純段則能夠?qū)⑵渲械南∠跛徇M(jìn)行精餾提純生成濃硝酸，而方法中通過脫水劑減壓精餾工藝，把硝酸蒸發(fā)提濃得到大約65%左右的稀硝酸，可以直接回用于制絨液系統(tǒng)中，達(dá)到硝酸的循環(huán)利用，降低藥劑費(fèi)用；脫水劑再生段則是通過在含有少量稀硝酸鎂溶液中加入一定含量氧化鎂中和后，將其進(jìn)行蒸發(fā)后所余下的即為高濃度的濃硝酸鎂，可直接作為脫水劑應(yīng)用到精餾提純段中去。本發(fā)明達(dá)到了廢水、固廢的資源化和回收利用，進(jìn)一步降低企業(yè)的運(yùn)營費(fèi)用和生產(chǎn)成本，達(dá)到節(jié)能、高效及環(huán)保的要求。