本實(shí)用新型提供了一種
多晶硅廢水分類處理及回收利用系統(tǒng),包括酸洗廢水處理系統(tǒng)和硅粉碳化硅廢水處理系統(tǒng);所述硅粉碳化硅廢水處理系統(tǒng)包括固液分離單元,分別與固液分離單元連接的切割砂漿處理系統(tǒng)和切割廢液處理系統(tǒng)。本實(shí)用新型提供的多晶硅廢水分類處理及回收利用系統(tǒng),將多晶硅廢水分類并分別通過酸洗廢水處理系統(tǒng)和硅粉碳化硅廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理,層次分明地對多晶硅廢水進(jìn)行分類處理、回收利用,降低了多晶硅廢水中氟離子對環(huán)境的危害,最大限度地回收了聚乙二醇、硅、碳化硅,實(shí)現(xiàn)了既確保出水達(dá)標(biāo),又減小了多晶硅廢水運(yùn)行成本的效果。
聲明:
“多晶硅廢水分類處理及回收利用系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)