本實(shí)用新型涉及廢氣處理領(lǐng)域,提供一種適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的廢氣處理系統(tǒng)及半導(dǎo)體制造設(shè)備。適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的廢氣處理系統(tǒng)包括若干封閉室,各封閉室內(nèi)設(shè)置有
真空泵和廢氣處理裝置;排風(fēng)管路,流體連通于封閉室;消防管路,流體連通于封閉室。該適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的廢氣處理系統(tǒng)能夠節(jié)省建筑施工成本,還能夠?qū)U氣處理裝置產(chǎn)生的熱量以及潛在的廢氣及時(shí)排走,能夠火情進(jìn)行及時(shí)的消除。降低了相關(guān)技術(shù)中半導(dǎo)體制造設(shè)備的廢氣處理系統(tǒng)中容易出現(xiàn)的火災(zāi)、爆炸等危險(xiǎn)事宜出現(xiàn)的可能性,提高了半導(dǎo)體制造設(shè)備的廢氣處理系統(tǒng)的安全處理能力。
聲明:
“適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的廢氣處理系統(tǒng)及半導(dǎo)體制造設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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