本實用新型公開了一種用于半導(dǎo)體枚葉式清洗設(shè)備的硫酸回收利用裝置，包括第一混合液處理機構(gòu)，包括儲存罐，進口端連通清洗設(shè)備的混合液體出口端，儲存罐的出口端連通清洗設(shè)備的硫酸進口端，以將經(jīng)加熱處理后的混合液補充入清洗設(shè)備內(nèi)；加熱氮氣源，連通儲存罐以向儲存罐內(nèi)通入熱氮氣體；廢氣流出管，連接在儲存罐的出口處。本實用新型可以將混合液進行加熱處理，利用氮氣的溫度使過氧化水分解，從而提高混合液中的硫酸濃度至需要的濃度值，再將經(jīng)過加熱處理的混合液返回到清洗機內(nèi)作為補充，繼續(xù)參與晶圓的清洗過程。可以回收利用硫酸，大大降低了廢水處理成本，簡化生產(chǎn)工藝，降低對環(huán)境的危害。同時降低了硫酸的消耗量。