一種大尺寸磨削晶圓表面腐蝕裝置,屬于半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便。包括:支腳、回收槽、吸盤(pán)支架、吸盤(pán)、液體承載部分?;厥詹凵显O(shè)有導(dǎo)軌、真空控制開(kāi)關(guān)、廢液排放口;吸盤(pán)支架內(nèi)設(shè)抽真空管道;液體承載部分包括:滑塊、支柱、橫梁、導(dǎo)軌梁、移動(dòng)板、酸液盛放槽、清水盛放槽、排液控制閥門(mén)、液體盛放槽固定螺栓。本發(fā)明可對(duì)磨削晶圓表面任意位置精確定位和進(jìn)行腐蝕,與人工手動(dòng)操作相比,較為方便高效,同時(shí)避免了人工手工操作受到腐蝕的危險(xiǎn)。
聲明:
“一種大尺寸磨削晶圓表面腐蝕裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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