本發(fā)明屬于微納米力學(xué)及精密機械領(lǐng)域,特別涉及一種用于掃描顯微環(huán)境的單軸雙向微力學(xué)測量裝置及測量方法。該裝置在主體支撐單元上安裝對稱的坐標式三維粗調(diào)平移臺、對稱的細調(diào)三維移動精密平臺及試樣平臺,通過控制系統(tǒng)及操縱單元控制操作,能夠完成微納米特征尺度材料和結(jié)構(gòu)力學(xué)性能的檢測,實現(xiàn)單向?qū)χ欣?、壓縮、彎曲和振動測量,以及微納米尺度試樣表面變形及微結(jié)構(gòu)演化檢測;裝置可以多次使用,并可結(jié)合數(shù)字圖像/散斑相關(guān)技術(shù)、圖像處理技術(shù)或微標記技術(shù)實現(xiàn)高空間分辨掃描顯微環(huán)境下的試樣的原位變形和力學(xué)性能檢測。
聲明:
“用于掃描顯微環(huán)境的單軸雙向微力學(xué)測量裝置及測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)