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一種基于光子晶體諧振腔的光學(xué)生化探測芯片

1003   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:28:25
本發(fā)明涉及一種基于光子晶體諧振腔的光學(xué)生化探測芯片,包括自下而上依次層疊鍵合的硅基層、二氧化硅層和單晶硅層構(gòu)成的基體,在所述基體上的單晶硅層中間刻蝕出狹縫槽,并由所述狹縫槽和其兩側(cè)的條形硅波導(dǎo)構(gòu)成狹縫光波導(dǎo),在所述狹縫光波導(dǎo)的光信號傳播路徑上刻蝕第一和第二光子晶體鏡面,所述光子晶體鏡面刻蝕于狹縫光波導(dǎo)兩側(cè)的條形硅波導(dǎo)上,第一光子晶體鏡面和第二光子晶體鏡面相隔一定距離,并在狹縫光波導(dǎo)上形成光子晶體諧振腔。本發(fā)明探測芯片利用光子晶體本身的色散補(bǔ)償效應(yīng),在大規(guī)模遠(yuǎn)程分布式探測中實現(xiàn)高性能檢測,從而避免了色散等因素對檢測性能的干擾。
聲明:
“一種基于光子晶體諧振腔的光學(xué)生化探測芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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