本發(fā)明提供了一種底柵薄膜晶體管及其制備方法。所述薄膜晶體管包括:襯底、設(shè)置在所述襯底上的柵極、覆蓋所述柵極的介電層、設(shè)置在所述介電層上的源極和漏極,以及覆蓋所述源極和所述漏極的
半導(dǎo)體材料層;所述源極和所述漏極相互間隔,且與所述柵極對(duì)準(zhǔn);所述介電層上開(kāi)設(shè)有與所述柵極的連接線(xiàn)連通的通道。本發(fā)明提供的薄膜晶體管能夠消除寄生電容,具有較短的溝道,其性能檢測(cè)方便快捷,半導(dǎo)體材料層可反復(fù)洗脫和生長(zhǎng),實(shí)現(xiàn)了下層基材的重復(fù)利用。
聲明:
“一種底柵薄膜晶體管及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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