本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)投影物鏡像方視場(chǎng)的在線測(cè)量裝置，屬于投影光刻性能檢測(cè)領(lǐng)域，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中由于投影物鏡像方視場(chǎng)較大、沒(méi)有足夠大尺寸的探測(cè)器直接在線測(cè)量的技術(shù)問(wèn)題，其中，所述在線測(cè)量裝置包括探測(cè)器、掩模板、掩模臺(tái)和工件臺(tái)，所述掩模板的中心具有長(zhǎng)方形孔，在線測(cè)量時(shí)，光束將掩模板的長(zhǎng)方形孔經(jīng)所述投影物鏡成像到像面處，所述探測(cè)器探測(cè)所述像面處的成像，所述在線測(cè)量裝置基于掩模板標(biāo)記成像的方式，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的投影物鏡像方視場(chǎng)較大、沒(méi)有足夠大尺寸的探測(cè)器進(jìn)行直接測(cè)量的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了投影物鏡集成后像方視場(chǎng)的在線測(cè)試，且測(cè)量速度快、易于推廣應(yīng)用。