本實(shí)用新型公開一種四探針檢測裝置,包括:工作臺;測試機(jī)架,測試機(jī)架設(shè)置在工作臺上;伸縮液壓缸,伸縮液壓缸安裝在測試機(jī)架上;輔助架,輔助架安裝在伸縮液壓缸的輸出端,且輔助架上安裝有測試頭;測試盤,測試盤設(shè)置在測試機(jī)架的底座上,本實(shí)用新型解決了硅片的電學(xué)性能檢測不方便的技術(shù)問題。
聲明:
“一種四探針檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)