本發(fā)明涉及一種鎳鉻合金濺射靶材的制備方法,所述制備方法包括:先對(duì)鎳鉻合金鑄錠進(jìn)行致密化處理,再依次進(jìn)行鍛造、退火、軋制、終端退火、機(jī)加工,得到鎳鉻合金濺射靶材。所述制備方法針對(duì)熔煉鑄造得到的鎳鉻合金鑄錠的內(nèi)部缺陷問題,在熱塑性變形加工之前先進(jìn)行致密化處理,有效避免了鎳鉻合金濺射靶材的內(nèi)部缺陷問題,將成品率提高至90%以上;而且,制備得到的鎳鉻合金濺射靶材內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻,晶粒細(xì)小,晶?!?0μm,符合半導(dǎo)體等高精端產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量要求。
聲明:
“一種鎳鉻合金濺射靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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