本發(fā)明涉及一種鎳鈦合金靶坯及其制備方法,所述制備方法包括對(duì)鎳鈦合金鑄錠依次進(jìn)行鍛造、一次退火、軋制、二次退火與機(jī)加工,得到的鎳鈦合金靶坯具有內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻,內(nèi)部無(wú)缺陷,晶粒細(xì)小等優(yōu)點(diǎn),晶粒大小一般≤100μm,最優(yōu)時(shí)≤50μm,將成品率提高至90%以上,符合半導(dǎo)體領(lǐng)域鎳鈦合金靶材的使用標(biāo)準(zhǔn)。
聲明:
“一種鎳鈦合金靶坯及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)