本發(fā)明公開了一種微觀單元磨蝕性表達(dá)方法測(cè)量裝置以及檢測(cè)方法,涉及材料檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該微觀單元磨蝕性表達(dá)方法測(cè)量裝置包括基座、位置調(diào)節(jié)組件、工件移動(dòng)臺(tái)以及壓頭總成。位置調(diào)節(jié)組件設(shè)置于基座,壓頭總成通過連接件與位置調(diào)節(jié)組件連接,工件移動(dòng)臺(tái)可移動(dòng)的設(shè)置于基座,且與壓頭總成對(duì)應(yīng)。該微觀單元磨蝕性表達(dá)方法測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,精度高,能夠避免壓頭模組之間的電磁干擾,又可以實(shí)現(xiàn)nm級(jí)的精確定位,能夠快速準(zhǔn)確的獲得樣品的磨蝕性能。
聲明:
“微觀單元磨蝕性表達(dá)方法測(cè)量裝置及檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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