本發(fā)明涉及一種用于化學(xué)分析的毛細(xì)管電泳
芯片的制備方法,首先在第一玻璃片上打孔,然后在第二玻璃片上鍍Cr膜,甩涂光刻膠,用刻有微管道圖形的模板作為掩膜版,對光刻膠曝光并顯影,露出該處的Cr膜層,再刻蝕,形成微管道圖形,最后用腐蝕液在第二玻璃片上刻蝕出微管道網(wǎng)絡(luò),使上、下玻璃片的通孔、端部相對準(zhǔn),在高溫度下使兩片玻璃鍵合。本發(fā)明的方法,制造成本低,易于大批量生產(chǎn),工藝流程的簡單,提高了制造成品率。
聲明:
“用于化學(xué)分析的毛細(xì)管電泳芯片的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)