本發(fā)明公開了一種基于光譜的化學(xué)機(jī)械平坦化在線終點(diǎn)檢測方法。首先根據(jù)被拋薄膜和基底材料的折射率n、消光系數(shù)k和目標(biāo)膜厚d計(jì)算出理論光譜曲線，然后選取該曲線的一段波長區(qū)域，計(jì)算該區(qū)域內(nèi)所有相對反射率極大值點(diǎn)對應(yīng)的波長值λhi和極大值點(diǎn)對應(yīng)的波長個(gè)數(shù)a、相對反射率極小值點(diǎn)對應(yīng)的波長值λlk和極小值點(diǎn)對應(yīng)的波長個(gè)數(shù)b。實(shí)時(shí)采集拋光過程中的原始光譜數(shù)據(jù)，得到濾波光譜曲線，選取相同波長區(qū)域的濾波光譜曲線區(qū)域的對應(yīng)參數(shù)，并計(jì)算兩組數(shù)據(jù)之間的差異值。如果該值小于預(yù)先設(shè)定的閾值，則停止平坦化過程。本發(fā)明可以排除檢測光強(qiáng)信號變化帶來的干擾，不用對檢測光譜做歸一化處理，減少了運(yùn)算時(shí)間，同時(shí)提升信號的檢測精度和檢測一致性。