目前化學(xué)過(guò)濾器在IC，TFT，OLED，PDP等電子廠房普遍采用。但化學(xué)過(guò)濾器的壽命目前還沒合適的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的辦法。目前常用的檢查方法是分別對(duì)化學(xué)過(guò)濾器的進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口進(jìn)行化學(xué)氣氛的采樣，然后對(duì)采樣的樣本拿到實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析。如果分析的結(jié)果顯示進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口的化學(xué)氣氛的濃度基本上沒變化了，就說(shuō)明該達(dá)到了化學(xué)過(guò)濾器的使用壽命。但是，這種檢測(cè)方式不能進(jìn)行在線檢測(cè)，并且檢測(cè)成本高、周期長(zhǎng)并且需要使用昂貴的實(shí)驗(yàn)分析儀器。本發(fā)明的目的就在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種檢測(cè)成本低、實(shí)時(shí)性好、使用便捷、操作簡(jiǎn)單的化學(xué)過(guò)濾器壽命檢測(cè)設(shè)備以及使用該設(shè)備的檢測(cè)方法。