等離子體空間分布的檢測方法。借助二苯基苦基酰肼與自由基的定量反應(yīng)測定出在放電反應(yīng)管內(nèi)特定部位上被低溫等離子體照射過的固體樣品的表面過氧化基量,由此推斷等離子體空間分布的均勻度。此法首次提出了利用化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行等離子體診斷的方法,同傳統(tǒng)的物理法診斷技術(shù)相比,簡便、實(shí)用,可以將檢測數(shù)據(jù)與等離子體化學(xué)反應(yīng)的最終結(jié)果建立聯(lián)系。
聲明:
“低溫等離子體的化學(xué)檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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