本發(fā)明提供了一種終點檢測方法和化學(xué)機械拋光裝置,其中方法包括:獲取拋光監(jiān)測模塊采集的測量值;利用所述測量值組成用于表征基板表面膜層隨時間變化的時間序列數(shù)據(jù)線;采用拉依達準則獲取所述時間序列數(shù)據(jù)線的拐點;根據(jù)所述拐點出現(xiàn)的時間確定拋光終點。本發(fā)明提高了終點檢測的準確性。
聲明:
“終點檢測方法和化學(xué)機械拋光裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)