本發(fā)明公開(kāi)了一種基于MEMS技術(shù)的
電化學(xué)地震檢波器電極敏感核心及其制造方法。所述電極敏感核心由多層電極層和絕緣層交替堆疊構(gòu)成,電極層和絕緣層分別是布滿(mǎn)方形通孔或圓形通孔的矩形薄片,其均采用MEMS加工技術(shù)制造,可方便地改變電極層和絕緣層通孔的數(shù)量和大小以便改變流阻進(jìn)而調(diào)整電化學(xué)地震檢波器的靈敏度及噪聲等特性,適應(yīng)不同應(yīng)用需求;基于本發(fā)明提出的制造方法能有效降低工藝難度,有利于實(shí)現(xiàn)電極敏感核心的批量化制造,制造的電極敏感核心具有良好的一致性。
聲明:
“基于MEMS的電化學(xué)地震檢波器電極敏感核心及其制造方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)