本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N化學(xué)品剩余量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、監(jiān)測(cè)方法及計(jì)算機(jī)設(shè)備?；瘜W(xué)品剩余量監(jiān)測(cè)方法包括：獲取使用前化學(xué)品容器中的化學(xué)品總量；得到產(chǎn)品處理過程中化學(xué)品的產(chǎn)品處理使用量；得到化學(xué)品的機(jī)臺(tái)損耗量；基于化學(xué)品總量、產(chǎn)品處理使用量及機(jī)臺(tái)損耗量得到化學(xué)品的剩余量。本發(fā)明的化學(xué)品剩余量監(jiān)測(cè)方法可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)化學(xué)品的剩余量，基于所述化學(xué)品的剩余量，可以在化學(xué)品的剩余量比較少時(shí)，專業(yè)人員可以提前到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)，為更換化學(xué)品提前做好準(zhǔn)備，在化學(xué)品需要更換時(shí)可以及時(shí)更換，不存在時(shí)間延遲和等待，更換化學(xué)品的過程中機(jī)臺(tái)可以不用停機(jī)，從而提高機(jī)臺(tái)使用效率，進(jìn)而確保較高的生產(chǎn)效率。